Ettevalmistamine ja töötleminetsirkooniumi sihtmärgidKaasage mitut etappi, sealhulgas tooraine ettevalmistamine, sihttootmete valmistamine, sihtmaterjalide töötlemine ja töötlemine enne magnetroni pritsimist. Konkreetne protsess on järgmine:
Tooraine ettevalmistamine: kasutage toorainena puhast tsirkooniumipulbrit või tsirkooniumisulamipulbrit ja puhtus on tavaliselt suurem kui 99,9%või võrdne. Sulamipulbri kasutamisel tuleb tsirkooniumipulbri ja sulamipulbri erinevaid proportsioone segada ühtlaselt vastavalt kavandatud proportsioonile.
Vajutamine: segatud pulber surutakse pressimismasina abil tühjaks. Tavaliselt kasutatavad vormid hõlmavad külma isostaatilist pressi (CIP) ja kuuma isostaatilist pressi (puusa). Külm isostaatiline pressimine sobib madala temperatuuri pressimiseks ja sobib pulbri otseseks pressiks; Kuum isostaatiline pressimine sobib kõrge temperatuuri pressimiseks, mis võib veelgi kõrvaldada pulbris poorid ja lisandid ning parandada tihedust.
Paagutamine: pressitud tühi pakstub kõrgel temperatuuril, tavaliselt kuuma isostaatilise pressimise teel (puusa). Paagutamise temperatuuri ja aega tuleb reguleerida vastavalt konkreetsetele materjali- ja protsessinõuetele, tavaliselt üle 1500 kraadi. Paagutusprotsessi ajal on oksüdeerumise ja saastumise vältimiseks vaja atmosfääri kontrollida.
Lõpetamine: paagutatud tühja töödeldakse soovitud sihtkujuks, näiteks kettaks, mehaaniliste töötlemismeetodite abil nagu keeramine, freesimine ja jahvatamine. Kasutage ülitäpseid töötlemisseadmeid, et tagada sihtmärgi mõõtmete täpsus ja pinnakvaliteet.
Pinna töötlemine: töödeldud sihtmärgiks on pinna töötlemine, näiteks poleerimine või keemiline poleerimine, et parandada pinna viimistlust ja ühtlust. Pinna lisandite ja oksiidide eemaldamiseks kasutatakse ultraheli puhastamist ja keemilist puhastamist.
Kvaliteedikontroll: ettevalmistatud tsirkooniumi sihtmärki on kvaliteedikontroll, sealhulgas mõõtmete täpsus, pinna karedus, keemiline koostis, tihedus jne. Kasutage kontrollimiseks röntgendifraktsiooni (XRD), skaneeriva elektronmikroskoobi (SEM) ja muid seadmeid.
Tsirkooniumi sihtmärgi üksikasjad Pildi ekraan
