Tsirkooniumi sihtmärgidVaadake pritsimispinna protsessides kasutatavaid tsirkooniumi materjale, eriti konkreetse ettevalmistusprotsessi käigus valmistatud materjale ja mida kasutatakse pritsimiseks tsirkooniumi õhukese kile sadestumiseks. See on peamiselt valmistatud puhtast tsirkooniumi (ZR) või tsirkooniumisulamitest (näiteks tsirkoonium-hafniumsulamist Zr-HF sulamist, tsirkoonium-niobium sulamist Zr-NB sulamist jne), millel on ketas-kujuline või lehtikujuline struktuur, ja seda kasutatakse peamiselt elektris tööstuses toimuvates pritsivates ladestumisprotsessis. Need sihtmärgid ladestuvad substraadile kõrgel temperatuuril pritsimistehnoloogia abil, moodustades vajaliku õhukese kilematerjali.
Tsirkooniumi sihtmärgi üksikasjad Pildi ekraan
